8613809172622
info@zctitanium.com
plJęzyk
Szukaj

Tarcze rozpylające tytan

Strona główna / Produkty / Tarcze rozpylające tytan
Przegląd produktu

 

Tarcze do napylania tytanu to materiały eksploatacyjne o wysokiej-czystości stosowane w systemach fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) do osadzania cienkich warstw tytanu lub-związków tytanu na podłożach. Zaprojektowane z myślą o jednolitym współczynniku rozpylania i minimalnym generowaniu defektów, nasze cele obsługują rozpylanie magnetronowe impulsowe o dużej mocy (HIPIMS) i konfiguracje magnetronowe DC/RF w liniach powłok półprzewodnikowych, optycznych i dekoracyjnych.

 
 
Specyfikacje techniczne

 

Parametr

Zakres specyfikacji

Czystość materiału

99,9% (3N) do 99,999% (5N)

Stopnie standardowe

ASTM B348 klasa 1 / klasa 2 (CP Ti), stopy tytanu (np. TiAl, TiSi)

Gęstość

>= 4.51 g/cm3 (>99,5% gęstości teoretycznej, mierzone na podstawie prawa Archimedesa)

Średnia wielkość ziarna

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Wymiary (płaskie)

Długość do 3000 mm, szerokość do 800 mm, grubość 3-25 mm

Wymiary (obrotowe)

Średnica zewnętrzna do 400 mm, długość do 4000 mm

Płyta tylna

Miedź OFHC (C10200 / C11000) lub aluminium (6061)

Technologia klejenia

Wiązanie indowe, wiązanie elastomerowe lub wiązanie dyfuzyjne (wskaźnik pustki < 1%)

 

Kluczowe funkcje

Drobna mikrostruktura

Kontrolowana obróbka termo-mechaniczna pozwala uzyskać średni rozmiar ziaren poniżej 100 µm, co zapewnia jednolite profile erozji i zapobiega preferencyjnemu rozpylaniu.

Kontrola czystości gazu

Procesy topienia indukcyjnego próżniowego (VIM) i topienia wiązką elektronów (EBM) pozwalają na ścisłe zminimalizowanie zanieczyszczeń gazami śródmiąższowymi (O, N, H, C).

Klejenie o wysokiej przewodności cieplnej

Wiązanie dyfuzyjne lub indowe z miedzianymi płytkami podkładowymi OFHC zapobiega wypaczeniu tarczy i przedwczesnemu pękaniu pod wpływem wyładowania plazmowego-o dużej gęstości.

Niska generacja cząstek

Wysoka gęstość i brak wewnętrznych mikro-pustych przestrzeni zapobiega tworzeniu się łuków elektrycznych i grudek podczas długich cykli powlekania.

 

Aplikacje
 

Półprzewodniki i mikroelektronika

 

Osadzanie warstw barierowych, warstw kontaktowych i wzajemnych warstw początkowych podczas wytwarzania układów scalonych.

Wyświetlacze płaskie (OLED/LCD)

 

Tworzenie przewodzących i pikselowych-sterujących-warstw tranzystorów cienkowarstwowych (TFT).

Powłoki optyczne

 

Powłoki-antyrefleksyjne (AR), warstwy filtrów i produkcja szkła architektonicznego Low-E.

Odporne na zużycie i dekoracyjne twarde powłoki

Osadzanie TiN, TiCN i TiAlN na narzędziach skrawających, elementach samochodowych i sprzęcie sanitarnym.

 

 

Dostosowanie i produkcja

Ścieżka produkcyjna:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Klejenie.


Możliwości niestandardowe:Niestandardowe geometrie (prostokątne, okrągłe, segmentowe, obrotowe), niestandardowe projekty kanałów chłodzących płyty nośnej i specyficzne wymagania dotyczące orientacji ziaren.


Obróbka-w domu:Frezowanie i toczenie CNC pozwala uzyskać tolerancje wymiarowe w zakresie +/- 0.1 mm i chropowatość powierzchni do Ra 0,4 um.

Grade 2 Titanium Plate

 

Kontrola jakości i certyfikaty

Testowanie analityczne

Spektrometria masowa z wyładowaniem jarzeniowym (GDMS) do analizy pierwiastków śladowych; Analizatory gazów LECO do oznaczania ilościowego tlenu, azotu i wodoru.

Inspekcja konstrukcji

Testy ultradźwiękowe (UT) przeprowadzono na 100% połączonych celów w celu sprawdzenia integralności wiązania i wykrycia pustych przestrzeni międzyfazowych.

Identyfikowalność

Każdy cel jest dostarczany z Certyfikatem analizy (COA) zawierającym szczegółowe informacje na temat czystości partii, rozkładu zanieczyszczeń w ppm i wyników testu gęstości.

 

Pakowanie i dostawa

 

 

Opakowanie

Pakowane próżniowo w-antystatyczne worki polietylenowe, wypełnione-amortyzującą pianką wewnątrz wzmocnionych-drewnianych skrzyń eksportowych, które zapobiegają utlenianiu podczas transportu i uszkodzeniom mechanicznym.

 

Czas realizacji

2 do 3 tygodni dla standardowych wymiarów płaskich; 4 do 6 tygodni w przypadku niestandardowych konfiguracji obrotowych lub-łączonych dyfuzyjnie.

 

Warunki wysyłki

FOB, CIF lub DDP w transporcie lotniczym lub morskim.

 

 

 

Często zadawane pytania

 

 

P: Jaki stopień czystości jest wymagany w zastosowaniach półprzewodnikowych w porównaniu z powłokami dekoracyjnymi?

Odp.: Zastosowania półprzewodników zazwyczaj wymagają czystości od 99,995% (4N5) do 99,999% (5N), aby zapobiec zmianie właściwości elektrycznych śladowych zanieczyszczeń metalicznych. W zastosowaniach dekoracyjnych i odpornych na zużycie-twardych powłok zazwyczaj wykorzystuje się czystość od 99,9% (3N) do 99,95%, równoważąc koszty i wydajność funkcjonalną.

P: Jak zapobiegać pękaniu obiektów docelowych podczas-napylania o dużej mocy?

Odp.: Pękanie docelowe można ograniczyć poprzez utrzymanie drobnego, jednolitego rozmiaru ziaren (< 100 um), high theoretical density (>99,5%) i wykorzystujące wytrzymałe płyty nośne z miedzi OFHC wiązane-dyfuzyjnie lub indu-, które skutecznie rozpraszają obciążenia termiczne.

P: Jaki jest maksymalny gwarantowany współczynnik pustki po sklejeniu?

Odp.: Gwarantujemy, że współczynnik pustki podczas łączenia międzyfazowego wynosi mniej niż 1% całkowitej powierzchni klejenia, co jest weryfikowane za pomocą ultradźwiękowego obrazowania C- przed wysyłką, co zapobiega miejscowemu przegrzaniu i rozwarstwieniu docelowego miejsca.

P: Czy możecie wyprodukować tarcze segmentowe do dużych komór powlekających?

O: Tak. Produkujemy-płaskie i obrotowe tarcze o dużej powierzchni w modułowych, blokujących się segmentach, zaprojektowanych z myślą o bezproblemowej instalacji w liniach szkła architektonicznego i powlekania wyświetlaczy.

P: Jakie informacje są wymagane, aby poprosić o niestandardową wycenę docelową?

Odp.: Proszę podać model systemu PVD, jeśli jest znany, docelową geometrię (płaską lub obrotową), dokładne wymiary (długość, szerokość, grubość lub średnicę zewnętrzną), stopień czystości materiału, wymagania dotyczące materiału płyty nośnej i szacunkową wielkość rocznego zużycia.

P: W jaki sposób cele są czyszczone i pakowane przed wysyłką?

Odp.: Cele są poddawane czyszczeniu ultradźwiękowemu w-czystych rozpuszczalnikach w celu usunięcia pozostałości po obróbce, są-uszczelniane próżniowo w pomieszczeniach czystych ze środkami suszącymi i pakowane w-przedmuchane azotem lub-wytrzymałe drewniane pojemniki.

 

modular-1
Poproś o wycenę

Aby otrzymać propozycję techniczną i wycenę konkretnego systemu osadzania, prosimy o podanie modelu systemu PVD, wymaganej czystości, wymiarów i szacunkowych ilości. Nasz zespół inżynierów odpowiada w ciągu 24 godzin roboczych, podając dostępność materiałów i harmonogramy dostaw.

Jesteśmy profesjonalnymi producentami i dostawcami obiektów do napylania tytanu w Chinach, specjalizującymi się w dostarczaniu wysokiej jakości niestandardowych usług. Zachęcamy do zakupu tutaj tarcz do napylania tytanu ze zniżką i otrzymania bezpłatnej próbki z naszej fabryki. W celu konsultacji cenowej skontaktuj się z nami.